誘電体膜の製造方法
【課題】比誘電率の低下を軽減しつつリーク電流値を低減し、スパッタ率の低下による堆積速度の減少を抑制し、かつ、面内均一性に優れた誘電体膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る誘電体膜の製造方法は、基板上に、AlとSiとOを主成分とする金属酸化物である誘電体膜を形成する誘電体膜の製造方法であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(B/(A+B))≦0.1であり、非晶質構造を有する金属酸化物を形成する工程と、該非晶質構造を有する金属酸化物に1000℃以上のアニール処理を施し、結晶相を含む金属酸化物を形成する工程と、を備える。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る誘電体膜の製造方法は、基板上に、AlとSiとOを主成分とする金属酸化物である誘電体膜を形成する誘電体膜の製造方法であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(B/(A+B))≦0.1であり、非晶質構造を有する金属酸化物を形成する工程と、該非晶質構造を有する金属酸化物に1000℃以上のアニール処理を施し、結晶相を含む金属酸化物を形成する工程と、を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、誘電体膜の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
素子の高集積化が進む半導体装置の開発では、各素子の微細化が進むとともに動作電圧の低減が図られている。例えば、MONOS(Metal Oxide Nitride Oxide Semiconductor)型の不揮発性半導体装置の分野では、素子の微細化に伴い電荷保持層(チャージトラップ層)とゲート電極との間を隔てるブロッキング膜があるが、素子の微細化に伴い、ブロッキング膜の高誘電率化が求められている。同様に、FG(Floting Gate)型の不揮発性半導体装置の分野では、素子の微細化に伴い、浮遊電極とゲート電極間の絶縁膜の高誘電率化が求められている。MONOS型のチャージトラップ層は、例えばシリコン窒化膜により形成されており、ブロッキング膜としては、比誘電率が高く、かつリーク電流が少なく、またシリコン窒化膜に対するバンドギャップが大きい膜が要求されている。このようなブロッキング膜としてAl2O3を利用する技術が検討されている。Al2O3膜の形成方法として、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、原子層吸着堆積法、スパッタ法が挙げられる。CVD法は、形成過程においてインキュベーションタイムが存在するため、膜厚の制御性、面内均一性、再現性が課題となる。一方、スパッタ法はプラズマダメージや被処理基板の酸化による界面層の形成が課題となる。
【0003】
ALD法あるいはCVD法によるAl2O3膜の形成方法として、特許文献1には、塩化アルミニウム(AlCl3)と酸化ガスを用いてα−Al2O3を含むAl2O3膜を形成する技術が開示されている。この技術は、バンドギャップが8.8eVと高い膜が得られるという特徴がある。
【0004】
また、非特許文献1には、非晶質構造を有するSiリッチのAlSiOxをブロッキング膜として利用することにより素子の信頼性が向上すると記載されている。
【0005】
また、スパッタによる高誘電率誘電体膜の形成方法として、特許文献2には、AlとSiを含有した結晶質金属酸化物を耐摩耗性皮膜として利用する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開2009−105087号公報
【特許文献2】特開2000−129445号公報
【非特許文献】
【0007】
【非特許文献1】Extended Abstractsof the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials. 2009,pp156−157
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
しかしながら、上述の技術にはそれぞれ以下のような課題が存在する。
【0009】
特許文献1に記載の塩化アルミニウム(AlCl3)と水蒸気を含む酸化ガスを用いてα−Al2O3を含むAl2O3膜を形成する技術では、バンドギャップが高いα−Al2O3が得られるが、原料ガスとして塩素を含むガス(AlCl3)と、酸化ガスとして水蒸気を、それぞれ使用しているため、塩化水素の形成による半導体製造装置内の腐食が課題となる。更には、半導体製造装置の部品として石英反応管を使用している場合、塩化アルミニウムによる石英反応管の腐食が懸念される。
【0010】
非特許文献1に記載の非晶質(アモルファス)構造を有するSiリッチのAlSiOxをブロッキング膜として利用する技術は、非晶質膜にすることにより結晶粒界を介したリーク電流を抑制できるが、比誘電率が結晶相を含むAl2O3と比較して低下するため、ブロッキング膜の薄膜化が困難になるという課題がある。また、最適なSiの含有率に関しては記載されていないという課題がある。
【0011】
また、特許文献2に記載のAlとSiを含有した結晶質金属酸化物は、耐摩耗性に優れたα−Al2O3の結晶相が形成できると記載されているが、半導体素子の製造に適用するにあたっては半導体ウエハ表面に均一な膜のアルミナ膜を成膜することが要求されるが、特許文献2にはこのような課題を解決する技術は記載されておらず、半導体素子の製造に提供することは困難である。
【0012】
本発明は、上記従来の課題に対してなされたものであり、上述した課題を改善し、比誘電率の低下を軽減しつつリーク電流値を低減し、スパッタ率の低下による堆積速度の減少を抑制し、かつ、面内均一性に優れた誘電体膜の製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0013】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、特定の組成を有し、非晶質構造を有する金属酸化物を形成し、更にアニール処理を施すことにより、比誘電率が高く、リーク電流値が少ない誘電体膜が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
【0014】
上記目的を達成するために、本発明は、基板上に、AlとSiとOを主成分とする金属酸化物である誘電体膜を形成する誘電体膜の製造方法であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であり、非晶質構造を有する前記金属酸化物を形成する工程と、前記非晶質構造を有する金属酸化物にアニール処理を施し、結晶相を含む前記金属酸化物を形成する工程と、を備えたことを特徴とする。
【0015】
また、本発明は、コンピュータに、高誘電体膜を含む半導体素子の形成方法を実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、前記形成方法は、基板上に、AlとSiとOを主成分とする金属酸化物である誘電体膜を形成する誘電体膜の製造方法であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であり、非晶質構造を有する前記金属酸化物を形成する第1の工程と、前記非晶質構造を有する金属酸化物にアニール処理を施し、結晶相を含む前記金属酸化物を形成する第2の工程と、有することを特徴とする。
【0016】
また、本発明は、表面に酸化膜を有する基板上に、誘電体膜と上部電極膜とを堆積したMISキャパシタであって、前記誘電体膜がAlとSiとOを主成分とする結晶相を含む金属酸化物であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であることを特徴とする。
【0017】
また、本発明は、素子分離されたシ基板の表面に、ソース−ドレイン領域と、第1の絶縁膜と、第2の絶縁膜と、第3の絶縁膜と、ゲート電極とを順次積層したMONOS型不揮発メモリ素子であって、前記第3の絶縁膜が、AlとSiとOを主成分とする結晶相を含む金属酸化物であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であることを特徴とする。
【0018】
さらに、本発明は、ソース電極と、ドレイン電極と、その表面の少なくとも一部が半導体層である基板と、前記基板のうち、前記ソース電極と前記ドレイン電極と間の領域上に形成されたゲート電極と、前記基板と前記ゲート電極の間に設けられた積層型ゲート絶縁膜を備える不揮発性半導体装置であって、前記積層型ゲート絶縁膜が含む絶縁膜の少なくとも一層が、ブロッキング絶縁膜であり、前記ブロッキング絶縁膜が、AlとSiとOを主成分とする結晶相を含む金属酸化物であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であるあることを特徴とする。
【発明の効果】
【0019】
本発明によれば、Alを含有する金属酸化物からなる誘電体膜の比誘電率の低下を伴うことなく、ないしは該低下を軽減して、リーク電流値の減少を実現することができる。従って、本発明の誘電体膜の製造方法を、MONOS型不揮発性半導体素子のブロッキング絶縁膜の製造方法、FG型不揮発性半導体素子の浮遊電極とゲート電極間の絶縁膜の製造方法に適用した場合であっても、酸化膜換算膜厚(EOT:Equivalent Oxide Thickness)の薄膜化が可能である。
【図面の簡単な説明】
【0020】
【図1】本発明の一実施形態により誘電体膜を形成したMISキャパシタの断面図である。
【図2】本発明の一実施形態に係る非晶質構造を有する金属酸窒化物膜の形成工程に用いられる処理装置の一例の概略を示した図である。
【図3】本発明の一実施形態に係る、AlSiO膜のモル比率Si/(Si+Al)のSiターゲットパワー依存性を示した図である。
【図4】本発明の一実施形態により作製した素子の比誘電率とモル比率Si/(Si+Al)の関係を示した図である。
【図5】本発明の一実施形態により作製した素子のリーク電流とモル比率Si/(Si+Al)の関係を示した図である。
【図6】本発明の一実施形態により作製した素子のバンドギャップとモル比率Si/(Si+Al)の関係を示した図である。
【図7】本発明の一実施形態に係るXRDスペクトルを示した図である。
【図8】本発明の一実施形態に係る、モル比率Si/(Si+Al)が0.1、であるAlSiO膜のX線回折スペクトルのアニール温度依存性を示した図である。
【図9A】本発明の一実施形態に係る、Alターゲットの放電特性とAlSiO膜の堆積速度に対する酸素流量依存性を示した図である。
【図9B】本発明の一実施形態に係る、Siターゲットの放電特性とAlSiO膜の堆積速度に対する酸素流量依存性を示した図である。
【図10】本発明の第1の実施例のMISキャパシタの断面図である。
【図11】本発明の第2の実施例の半導体装置の製造方法の工程を示す図である。
【図12】本発明の第3の実施例の半導体装置の断面図である。
【図13】本発明の一実施形態における制御機構を示す図である。
【図14】本発明の一実施形態に係る処理装置に設置されている制御機構の模式図である。
【図15】本発明の第4の実施例の半導体装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0021】
以下、本発明の実施形態を図面に基づき詳細に説明する。
【0022】
本発明の一実施形態に係る製造方法で形成された誘電体膜(例えば、高誘電体膜)について、表面にシリコン酸化膜を有するシリコン基板上に、誘電体膜として、構成元素としてAl、Siを含む複合酸化膜(以下AlSiO膜と記述)を形成したMIS(Metal Insulator Semiconductor)キャパシタを例に取り説明する。
【0023】
本実施形態に係る誘電体膜の方法では、図1に示すように、表面に膜厚3.5nmのシリコン酸化膜2を有するシリコン基板1に、非晶質構造を有するAlSiO膜3を誘電体膜として堆積し、AlSiO膜3上にTiN膜4を上部電極膜として堆積している。
【0024】
図2に、非晶質構造を有するAlSiO膜の形成工程に用いられる処理装置の一例の概略を示す。
【0025】
成膜処理室100はヒータ101によって所定の温度に加熱できるように構成されている。また、成膜処理室100は、被処理基板102を、基板支持台103に組み込まれた、サセプタ104を介して、ヒータ105によって所定の温度に加熱できるように構成されている。基板支持台103は、膜厚の均一性の観点から所定の回転数で回転できることが好ましい。成膜処理室100内には、ターゲット106、126が、被処理基板102を望む位置に設置されている。
【0026】
ターゲット106、126は、Cu等の金属から出来ているバックプレート107、127を介してターゲットホルダー108、128に設置されている。なお、ターゲット106、126とバックプレート107、127を組み合わせたターゲット組立体の外形を1つの部品としてターゲット材料で作成し、これをターゲットとして取り付けても構わない。つまり、ターゲットがターゲットホルダーに設置された構成でも構わない。
【0027】
Cu等の金属製のターゲットホルダー108、128には、スパッタ放電用電力を印加する直流電源110、130が接続されており、絶縁体109、129により接地電位の成膜処理室100の壁から絶縁されている。
【0028】
スパッタ面から見たターゲット106、126の背後には、マグネトロンスパッタリングを実現するためのマグネット111、131が配設されている。マグネット111、131は、マグネットホルダー112、132に保持され、図示しないマグネットホルダー回転機構により回転可能となっている。ターゲットのエロージョンを均一にするため、放電中には、このマグネット111、131は回転している。
【0029】
ターゲット106、126は、被処理基板102に対して斜め上方のオフセット位置に設置されている。すなわち、ターゲット106、126のスパッタ面の中心点は、基板102の中心点の法線に対して所定の寸法ずれた位置にある。
【0030】
ターゲット106、126と被処理基板102の間には、遮蔽板116が設置され、電力が供給されたターゲット106、126から放出されるスパッタ粒子による処理基板102上への成膜を制御している。
【0031】
本実施形態では、ターゲットとして、Alの金属ターゲット106とSiの金属ターゲット126を用いている。誘電体膜3の堆積は、金属ターゲット106、126に、それぞれ直流電源110、130より、ターゲットホルダー108、128およびバックプレート107、127を介して電力を供給することにより実施される。この際、不活性ガスが、不活性ガス源201から、バルブ202、222、マスフローコントローラ203、223、バルブ204、224を介してターゲット付近から処理室100に導入される。また、酸素ガスである反応性ガスは、酸素ガス源205から、バルブ206、マスフローコントローラ207、バルブ208を介して処理室100内の基板付近に導入される。導入された不活性ガスおよび反応性ガスは、コンダクタンスバルブ117を介して、排気ポンプ118によって排気される。
【0032】
本実施形態では、一例として、基板温度が30℃となるようにヒータ105を制御し、Alターゲット106のターゲットパワーを600W、Siターゲット126のターゲットパワーを0W〜500Wの範囲に設定し、不活性ガスとしてArを用い、Arの供給量を25sccmとして、反応性ガスである酸素の供給量を0sccm〜20sccm(Standard Cubic Centimeter per Minutes)の範囲で成膜を行う。なお、sccm=一分間当たり供給されるガス流量0℃、1気圧で表したcm3数=1.69×10−3Pa・m3/s(0℃において)である。
【0033】
このとき、AlとSiとOとを主成分として含む金属酸化物であるAlSiO膜のモル比率Si/(Si+Al)を、Siのターゲット126に投入するパワーにより調節する。
【0034】
図13は、本発明の実施形態における制御機構を示す図である。バルブ202、204、206、208、222、224については、それぞれ制御用入出力ポート800、801、802、803、804、805を介して制御装置700によって開閉制御ができる。また、マスフローコントローラ203、207、223については、それぞれ制御用入出力ポート806、807、808を介して制御装置700によって流量の調節ができる。また、コンダクタンスバルブ117については、制御用入出力ポート809を介して制御装置700によって開度の調節ができる。また、ヒータ101については、入出力ポート810を介して制御装置700によって温度の調節ができる。また、基板支持台103の回転状態については、入出力ポート811を介して制御装置700によって回転数の調節ができる。また、直流電源110、130については、入出力ポート812,813を介して制御装置700によって供給電力が調節できる。
【0035】
図14は、本発明の実施形態に係る成膜装置100を制御するように設置されている制御装置700の模式図である。制御装置700は、入力部700b、プログラム及びデータを有する記憶部700c、プロセッサ700d及び出力部700eを備えており、基本的にはコンピュータ構成であり、対応の成膜装置100を制御している。なお、制御装置700は、成膜装置100と別個に設けても良いし、成膜装置100に内蔵しても良い。実施形態の機能を実現するように実施形態の構成を動作させるプログラムを記憶媒体(記録媒体)に記録し、該記憶媒体に記憶されたプログラムをコードとして読み出し、コンピュータにおいて実行する処理方法も上述の実施形態の範疇に含まれる。即ちコンピュータ読み取り可能な記憶媒体も実施形態の範囲に含まれる。また、前述のコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体はもちろんそのコンピュータプログラム自体も上述の実施形態に含まれる。かかる記憶媒体としてはたとえばフロッピー(登録商標)ディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、CD―ROM、磁気テープ、不揮発性メモリカード、ROMを用いることができる。
【0036】
図3に、AlSiO膜のモル比率Si/(Si+Al)のSiターゲットパワー依存性を示す。図3中、横軸はSiターゲットパワー(ターゲット126に供給されるパワー)、縦軸は(Si+Al)に対するSiのモル比率を示す。なお、図3において、Alターゲットパワー(ターゲット106に供給されるパワー)を、600Wと一定とする。組成については、XPS(X−ray Photoelectron Spectroscopy;光電子分光法)による分析により評価すれば良い。このように、Siのターゲットパワーを調節することにより、モル比率Si/(Si+Al)を0から0.30の範囲に制御できることが確認できる。よって、本実施形態では、制御装置700は、直流電源130を制御してターゲット126へのパワーを調節することにより、AlSiO膜のモル比率Si/(Si+Al)を制御することができる。
【0037】
上述の形成工程を用いて、AlSiO膜とSiを含まないAl2O3膜、又はSiを含まないAl2O3膜を膜厚5nm〜25nmの範囲で成膜する。
【0038】
次に、成膜したAlSiO膜、Al2O3膜を窒素雰囲気中600℃〜1000℃の範囲でアニール処理を施すことにより結晶化させ、結晶相を含む金属酸化物である誘電体膜3とする。
【0039】
次に、誘電体膜3上にスパッタリング法により膜厚10nmのTiN膜4を堆積させる。尚、誘電体膜3上にTiN膜4を堆積させた後、アニール処理を施し結晶化させても良い。
【0040】
次に、リソグラフィー技術とRIE(Reactive Ion Etching)技術を用いてTiN膜4を所望の大きさに加工し、MISキャパシタ構造を形成する。ここで、シリコン基板1を下部電極、TiN膜4を上部電極として電気特性の評価を行った。
【0041】
図4に、作製した素子の比誘電率とモル比率Si/(Si+Al)の関係を示す。図4中、横軸は、作製した素子の誘電体膜3における(Si+Al)に対するSiのモル比率、縦軸はAl2O3膜の比誘電率を示す。図中、黒塗りの三角「▲」のプロットはasdepo膜、黒塗り四角「■」のプロットは1000℃アニール後の結果を示している。なお、「as depo膜」とは、as−deposited膜の略であり、誘電体膜3を成膜した状態をいう。図より、asdepo膜はモル比率を変えても比誘電率の大きな変化は見られず、ほぼ一定で9前後の値を示す。一方1000℃アニール後の結果は、モル比率Si/(Si+Al)が0から0.10の範囲では、比誘電率はasdepo膜よりも増加し、AlSiO膜の比誘電率は9.3〜9.6となるが、0.1よりSiのモル比率を上げると比誘電率は8.2まで大幅に減少し、asdepo膜よりも下回る。
【0042】
図5に、作製した素子のリーク電流と作製した素子の誘電体膜3におけるモル比率Si/(Si+Al)の関係を示す。素子は、1000℃アニール処理を行ったものを用いている。図中の横軸はモル比率Si/(Si+Al)を示し、縦軸は、図1記載の素子の上部電極4に−9MV/cmの電界を印加したときのリーク電流を示している。リーク電流は電流−電圧測定により評価した。図5より、リーク電流はSiのモル比率が増加するに従い減少する。特に、Siを含まないAl2O3膜(図5では、Si/(Si+Al)=0の場合)のリーク電流が2.7×10−5A/cm2であるのに対し、モル比率を0.3とすることで2.45×10−8A/cm2と約3桁減少する。ここで、比誘電率kが8.5以上であるモル比率は、図4から0から0.1である。従って、比誘電率kが8.5以上でかつリーク電流値を抑制できるモル比率Si/(Si+Al)は、0よりも大きく0.10以下の範囲であることが示される。
【0043】
図6に、作製した素子のバンドギャップ(Eg)と作製した素子の誘電体膜3におけるモル比率Si/(Si+Al)の関係を示す。Egは真空紫外分光を有したエリプソメトリ(VUV−SE:Vacuum Ultra Violet Spectroscopicellipsometry)により測定した。図中、黒塗りの三角「▲」のプロットはasdep膜、黒塗り四角「■」のプロットは1000℃アニール後の結果を示している。図より、as depo膜のバンドギャップはモル比率Si/(Si+Al)の増加に従って増加しており、モル比率Si/(Si+Al)が0から0.2の領域でバンドギャップは6.65eVから6.93eVまで増加した。これに対し、1000℃アニール後のバンドギャップは、モル比率Si/(Si+Al)が0.07の時7.53eVに増加するが、その後モル比率Si/(Si+Al)を上げるとバンドギャップは減少し、Siを導入しないAl2O3膜(図6では、Si/(Si+Al)=0の場合)と同程度の7.45eVとなった。
【0044】
以上のことから、AlSiO膜のモル比率Si/(Si+Al)は、比誘電率の低下を小さくしつつ、リーク電流値の低減効果が得られる0よりも大きく0.1以下の範囲を有することが必要であり、バンドギャップの増大効果が得られる0よりも大きく0.08以下の範囲を有することが好ましく、より好ましくは0よりも大きく0.07以下の範囲にするのがよい。
【0045】
図7に1000℃アニール後のAl2O3膜(図7では、Si/(Si+Al)=0の場合)とAlSiO膜のX線回折パターンを示す。図7より1000℃でアニールすることにより、Al2O3膜とAlSiO膜は結晶化し、モル比率Si/(Si+Al)が0と0.07の膜はγ−Al2O3の結晶構造を示し、モル比率Si/(Si+Al)が0.1ではγ−Al2O3とアルミニウムケイ酸塩の結晶構造が混在し、モル比率Si/(Si+Al)が0.1より上げるとアルミニウムケイ酸塩の結晶構造を示す。この結晶構造の違いが比誘電率値の変化やリーク電流の抑制に寄与していると考えられる。すなわち、本発明のように、モル比率Si/(Si+Al)をせいぜい0.1とすることにより、誘電体膜3のアニール後の結晶構造においてアルミニウムケイ酸塩の形成を低減することができる。
【0046】
図8にモル比率Si/(Si+Al)が0.1であるAlSiO膜のX線回折スペクトルのアニール温度依存性を示す。図8中の横軸の2θは、X線を試料水平方向に対してθの角度で入射させ、 試料から反射して出てくるX線のうち、入射X線に対して2θの角度のX線を検出した場合の角度であり、縦軸のintensityは、回折された試料のX線の強度(任意値)を示す。図8より、AlSiO膜はas−deposited状態から900℃のアニール温度の範囲では、非晶質構造を有していることが確認できる。一方、1000℃以上のアニール温度により、結晶化していることが確認できる。従って、本発明における誘電体膜の効果を得るには、1000℃以上のアニール処理温度が必要であることが示される。
【0047】
次に、図9A,9BにAlターゲットとSiターゲットとの放電特性及びAlSiO膜の堆積速度に対する酸素流量依存性を示す。図9A、9B中、黒塗りの三角「▲」のプロットは酸素流量増加時、黒塗り四角「◆」および黒塗りの丸「●」のプロットは酸素流量減少時を示している。図9Aに示すAlターゲットの放電特性より、酸素流量が10sccm以下の領域では放電電圧が450V以上であるのに対して、15sccmより多い領域では放電電圧が300V以下に減少することが確認できる。又、図9Bに示すSiターゲットの放電特性より、酸素流量が20sccm以下の領域では放電電圧が550V以上であるのに対して、25sccm以上の領域では放電電圧が330V以下に減少することが確認できる。これらの放電電圧の変化は、酸素の供給量が増加すると金属ターゲット表面が酸化され、二次電子放出係数の増加及びガスのイオン化エネルギーの低下によって放電電流が増加するためである。なお、「スパッタ率」とは、スパッタターゲットを衝撃する衝撃イオン1個当たり放出するスパッタ原子数の割合をいう。すなわち、酸素流量が増加するに従って金属ターゲットの表面が酸化され、本来スパッタすべき金属元素のスパッタ粒子が放出されにくくなり、スパッタ率が低下することになる。上述のように、金属ターゲット表面の酸化と放電電圧の変化とは相関があるので、放電電圧の低下率が最大の箇所は、スパッタ率の低下率の最大と一致する。
【0048】
一方、AlSiO膜の堆積速度は、酸素流量が15sccm以上の領域では0.32nm/min以下であるのに対して、酸素流量が10sccmより低い領域では、4.1/min以上と大幅に増加する。この堆積速度の変化は、Alターゲットの放電特性に依存しており、本発明のAlSiO膜のAl濃度が、Siの濃度よりも十分に大きいことによる。すなわち、以上のことから、本発明の一実施形態における誘電体膜の形成は、堆積速度の低下を招くことなく実現できる、少なくともAlターゲットの酸化が小さい10sccm以下で行うことが好ましい。
【0049】
このように、放電電圧の酸素流量依存性を示すグラフにおいて、酸素供給量を増加させる場合において放電電圧が不連続に変わる領域(放電電圧が劇的に低下する領域)を境に、堆積速度も低下している。堆積速度が低下しているということはスパッタ率が低下していることになるので、上述のように放電電圧が劇的に低下する酸素供給量は、金属ターゲットの表面が供給された酸素により酸化することにより生じるスパッタ率の低下率が最大となる酸素供給量と言える。
【0050】
従って、例えば、金属ターゲットがAlである場合は、図9Aから分かるように、酸素供給量を増加させた場合のAlターゲットのスパッタ率の変動(放電電圧の変動)において(すなわち、スパッタ率(放電電圧)の酸素供給量依存性において)、Alターゲットの表面の酸化に起因したスパッタ率の低下率が最大となる酸素供給量以下に酸素供給量を設定することで、堆積速度を向上することができる。このように、Alターゲットのスパッタ率の低下を抑えるためには、Alターゲットに対する酸素供給速度としては10sccm以下であることが好ましい。
【0051】
また、例えば、金属ターゲットがSiである場合は、図9Bから分かるように、酸素供給量を増加させた場合のSiターゲットのスパッタ率の変動において、Siターゲットの表面の酸化に起因したスパッタ率の低下率が最大となる酸素供給量以下に酸素供給量を設定することで、堆積速度を向上することができる。このように、Siターゲットのスパッタ率の低下を抑えるためには、Siターゲットに対する酸素供給速度としては20sccm以下であることが好ましい。
【0052】
さらに、上述のように、AlSiO膜の成膜速度を向上させるためには、図9A、9Bから分かるように、AlターゲットおよびSiターゲットの双方とも放電電圧が劇的に低下していない場合に対応する酸素供給量、すなわち、スパッタ率が劇的に低下していない場合に対応する酸素供給量である10sccm以下にすることが好ましい。
【0053】
次に、形成された誘電体膜の膜厚の面内均一性と成膜中における真空容器内の圧力との関係を調査した。その結果、真空容器内の圧力が1×10−1Pa以下の領域において、±2.5%以下の均一性が得られることを確認した。なお、真空容器内の圧力を1×10−1Pa以上にすると、スパッタ粒子の基板到達時のエネルギーは減少するので、このことが均一性を低下する要因になると考えられる。
【0054】
以上より、比誘電率値が8.5以上であり、かつリーク電流値が低い誘電体膜を製造するには、AlとSiとOを主成分とする金属酸化物からなる誘電体膜の形成方法であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.1であり、非晶質構造を有する金属酸化物を形成すること、更に、1000℃以上のアニール処理を施し、該非晶質構造を有する金属酸化物をγ−Al2O3を主体とする結晶相を含む誘電体膜にすることが必要である。
【0055】
バンドギャップが7.45eV以上の誘電体膜を製造するには、AlとSiとOを主成分とする金属酸化物からなる誘電体膜の形成方法であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.08であり、非晶質構造を有する金属酸化物を形成すること、更に、1000℃以上のアニール処理を施し、該非晶質構造を有する金属酸化物をγ−Al2O3を主体とする結晶相を含む誘電体膜にすることが必要である。
【0056】
また、非晶質構造を有する金属酸窒化物を形成する工程が、真空容器内で、酸素と窒素の混合ガスからなる反応性ガスと不活性ガスの混合雰囲気下において上記金属酸窒化物層に含まれる金属材料の金属ターゲットをマグネトロンスパッタする工程であることが好ましい。この工程において、堆積速度の低下を抑制するため、反応性ガスの供給量を上記金属ターゲットの表面が酸化することにより生じるスパッタ率の低下率が最大となる供給量以下に設定することが好ましい。更に、形成される誘電体膜の膜厚均一性を±2.5%以下にするには、成膜中の真空容器内の圧力を1×10−1Pa以下に設定することが好ましい。
【0057】
尚、上記の説明では、シリコン酸化膜上に誘電体膜を形成した場合について述べたが、これらに限定されるものではなく、MONOS型不揮発メモリにおけるブロッキング膜、FG型不揮発メモリ素子における浮遊電極とゲート電極間の絶縁膜、MOSトランジスタの一部に、本発明の方法を適用することで、十分にその効果を得ることができる。
【0058】
即ち、絶縁体膜として誘電体膜を有する半導体装置の製造方法に、本発明の方法を適用することができ、例えば、以下の製造方法が挙げられる。
【0059】
本発明の製造方法が適用可能な製造方法としては、例えば、その表面の少なくとも一部が半導体層である基板と、該基板上に形成されたゲート電極と、上記基板と上記ゲート電極の間に順次積層された積層型ゲート絶縁膜を有する不揮発性半導体装置の製造方法であって、上記積層型ゲート絶縁膜に含まれる絶縁膜の少なくとも一層を、本発明の一実施形態に係る方法により形成する半導体装置の製造方法等が挙げられる。
【0060】
また、本発明の製造方法により製造される半導体装置としては、例えば、その表面の少なくとも一部が半導体層である基板と、該基板上に形成されたゲート電極と、上記基板と上記ゲート電極との間に、絶縁膜と浮遊電極と絶縁膜とが順次積層された構造を有する不揮発性半導体装置であって、上記ゲート電極と上記浮遊電極との間に位置する絶縁膜の少なくとも一部が、本発明の誘電体膜である半導体装置等が挙げられる。
【0061】
(第1の実施例)
本発明の第1の実施例を、図面を参照しながら詳細に説明する。
【0062】
図10は、本発明の一実施形態に係る製造方法により形成された誘電体膜を有するMISキャパシタを示した図である。表面に膜厚3.5nmのシリコン酸化膜302を有するシリコン基板301に、スパッタリング法により非晶質構造を有するAlSiO膜を堆積した。ターゲットとしては、AlおよびSiの金属ターゲットを用い、スパッタガスとしてアルゴンおよび酸素および窒素を用いた。
【0063】
基板温度は27℃〜600℃、ターゲットパワーは50W〜1000W、スパッタガス圧は0.02Pa〜0.1Pa、Arガス流量は1sccm〜200sccm、酸素ガス流量は1sccm〜100sccm、窒素ガス流量は1sccm〜50sccm、の範囲内で適宜決定することができる。
【0064】
ここでは、基板温度30℃、Alのターゲットパワー600W、Siのターゲットパワー50W〜500W、スパッタガス圧0.03Pa、Arガス流量25sccmとして成膜を行った。また、酸素供給量は、堆積速度の低下を招くことのないように、図9Aに示される範囲になるように酸素供給量を設定した。
【0065】
上述の形成工程を用いてSiモル比率0≦Si/(Si+Al)≦0.30の範囲のAlSiO膜303を膜厚5nm〜25nmの範囲で成膜した。
【0066】
次に、AlSiO膜上にスパッタリング法を用いて膜厚10nmのTiN膜304を堆積させた。ターゲットとしては、Tiの金属ターゲットを用い、スパッタガスとしてはアルゴンおよび窒素を用いた。
【0067】
基板温度は27℃〜600℃、ターゲットパワーは50W〜1000W、スパッタガス圧は0.02Pa〜0.1Pa、Arガス流量は1sccm〜200sccm、窒素ガスは1sccm〜50sccmの範囲内で、適宜決定することができる。
【0068】
ここでは、基板温度30℃、Tiのターゲットパワー750W、スパッタガス圧0.03Pa、Arガス流量30sccm、窒素ガス流量10sccmとして成膜を行った。
【0069】
尚、ここではTiN膜304を堆積したが、Ti、TaN、W、Pt、Ru、Al、TiAlN、Siも適宜、用いることができる。
【0070】
次に、窒素雰囲気中で1000℃の温度において、2minのアニール処理を行い、AlSiO膜を結晶化させ、誘電体膜303とした。尚、ここではTiN膜304を堆積した後、アニール処理を行ったが、TiN膜304を堆積する前にアニール処理を行ってもよい。また、ここでは窒素雰囲気中でアニール処理を行ったが、酸素、Ar等の不活性ガスを適宜、用いることができる。また、これらからなる群のうち選択される雰囲気中でアニールしてもよい。
【0071】
次に、リソグラフィー技術とRIE技術を用いてTiN膜304を所望の大きさに加工し、MISキャパシタ構造を形成した。
【0072】
以上のように作製した誘電体膜303の比誘電率を評価した。その結果、AlSiO膜のSiモル比率Si/(Si+Al)が0.1以下の範囲で比誘電率が8.5以上の値が得られ、かつリーク電流が低減できることを確認した。更に、AlSiO膜のSiモル比率Si/(Si+Al)が0.08以下の範囲においてバンドギャップが増大することを確認した。
【0073】
このように、本実施例によれば、AlSiO(Siモル比率0<(Si/(Si+Al))≦0.1)で表され、非晶質構造を有する金属酸化物を形成する工程と、非晶質構造からなる金属酸化物に1000℃以上のアニール処理を施し、結晶相を含む金属酸化物を形成する工程と、を実施することにより比誘電率値が8.5以上であり、かつリーク電流値を低減できる誘電体膜が得られることを確認した。
【0074】
また、TiN膜304に代えて、Ti、TaN、W、Pt、Ru、Al、Siからなる群から選択される一つの材料を用いても、同様の効果が得られることを確認した。
【0075】
(第2の実施例)
図11は、本発明の第2の実施例に関わる半導体素子の作製工程を示した断面図である。
【0076】
まず図11の工程1に示すように、シリコン基板501の表面にSTI(Shallow Trench Isolation)技術を用いて素子分離領域502を形成した。続いて、素子分離されたシリコン基板501の表面に、第1の絶縁膜503としてシリコン酸化膜を熱酸化膜法により30Å〜100Å形成した。続いて、第1の絶縁膜503上に、第2の絶縁膜504としてシリコン窒化膜をLPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)法により30Å〜100Å形成した。続いて、第3の絶縁膜505として、第2の絶縁膜504上に、第1の実施例と同じ方法によりAlSiO膜を膜厚5nm〜20nmの範囲で形成した。
【0077】
次に、ゲート電極506として厚さ150nmのpoly−Si膜を形成した後、図11の工程2に示すように、リソグラフィー技術およびRIE(Reactive Ion Etching)技術を用いて、工程1にて作製された構造をゲート電極に加工し、引き続きイオン注入を行い、エクステンション領域507を、ゲート電極をマスクとして自己整合的に形成した。
【0078】
さらに、図11の工程3に示すように、シリコン窒化膜とシリコン酸化膜を順次堆積し、その後エッチバックすることによってゲート側壁508を形成した。この状態で再度イオン注入を行い、活性化アニールを経てソース・ドレイン領域509を形成した。
【0079】
作製した半導体装置の電気特性を評価した結果、第3の絶縁膜505であるAlSiO膜のSiモル比率が0<(Si/(Si+Al)≦0.1の範囲で、Siを含有しないAl2O3と比較して比誘電率の低減を軽減しつつ、リーク電流を低減できることを確認した。更に、AlSiO膜のSiモル比率が0<(Si/(Si+Al)≦0.08の範囲のAlSiO膜を形成することで消去特性と保持特性の向上を確認した。
【0080】
以上のように、本実施例によれば、MONOS型不揮発メモリ素子のブロッキング絶縁膜の一部に、AlSiO膜を有する半導体装置の製造方法において、本発明の誘電体膜の製造方法を実施することにより、ゲートリーク電流を低減できる半導体装置が得られることができる。
【0081】
また、本実施例において、ゲート電極としてpoly−Si膜を用いたが、ゲート電極としてTiN、TaN、W、WN、Pt、Ir、Pt、Ta、Tiを用いても同様の効果を得ることができた。
【0082】
また、本実施例においては、不揮発性半導体メモリ素子のブロッキング層として、第3の絶縁膜505を用いたが、これに限定されるものではなく、第3の絶縁膜505の一部にAlSiO膜が含まれていればその効果を得ることができた。
【0083】
(第3の実施例)
本発明の第3の実施例を、図面を参照しながら詳細に説明する。
【0084】
図12は、本発明の第3の実施例である半導体装置の断面図を示した図である。本実施例は、第2の実施例における半導体素子の第2の絶縁膜504をpoly−Si604からなる層で形成する点で、第2の実施例と異なる。第2の絶縁膜504以降の形成工程は、第2の実施例と同一である。図12において、符号601はシリコン基板、符号602は素子分離領域、符号603は第1の絶縁膜、符号605は第3の絶縁膜、符号606はゲート電極、符号607はエクステンション領域である。
【0085】
作製した半導体装置の電気特性を評価した結果、第3の絶縁膜であるAlSiO膜のSiモル比率が0<(Si/(Si+Al)≦0.08の範囲で、Siを含有しないAl2O3と比較して比誘電率の低下を招くことなくリーク電流を低減できることを確認した。
【0086】
以上のように、本実施例によれば、浮遊電極を有するFG型の不揮発メモリ素子のブロッキング絶縁膜(インターポリ絶縁膜)の一部に、AlSiO膜を有する半導体装置の製造方法において、本発明誘電体膜の製造方法を実施することにより、ゲートリーク電流を低減できる半導体装置が得られることができる。
【0087】
また、本実施例において、ゲート電極としてpoly−Si膜を用いたが、ゲート電極としてTiN、TaN、W、WN、Pt、Ir、Pt、Ta、Tiを用いても同様の効果を得ることができた。
【0088】
また、本実施例においては、不揮発性半導体メモリ素子のブロッキング層として、第3の絶縁膜と第4の絶縁膜と第5の絶縁膜の積層膜を用いたが、第3の絶縁膜と第4の絶縁膜の積層膜でも同様の効果を得ることができた。
【0089】
<第4の実施例(FG型不揮発性半導体素子に適用した実施例)>
本発明の第4の実施例を、図面を参照しながら詳細に説明する。
図15は、本発明の第4の実施例である半導体装置の断面図を示した図である。本実施例は、第2の実施例における半導体素子の第2の絶縁膜504をpoly−Si701からなる層で形成する点で、第2の実施例と異なる。poly-Si701はCVD法により作製した。それ以外の形成工程は、第2の実施例と同一である。図15においては不図示であるが、本実施例に係るFG型不揮発性半導体素子は、ソース電極およびドレイン電極を備えることは言うまでもない。よって、シリコン基板501のソース電極とドレイン電極との間の領域上にゲート電極が形成される。
【0090】
作製した半導体装置であるFG型不揮発性半導体素子の電気特性を評価した結果、第3の絶縁膜505であるAlSiO膜のSiモル比率が0<(Si/(Si+Al))≦0.1の範囲で、Siを含有しないAl2O3と比較して比誘電率の低減を招くことなくリーク電流を低減できることを確認した。更に、AlSiO膜のSiモル比率が0<(Si/(Si+Al)≦0.08の範囲のAlSiO膜を形成することで消去特性と保持特性の向上を確認した。
【0091】
以上のように、本実施例によれば、FG型不揮発性半導体素子のブロッキング絶縁膜の一部に、AlSiO膜を有する半導体装置の製造方法において、本発明の誘電体膜の製造方法を実施することにより、ゲートリーク電流を低減し、消去特製と保持特性を向上することができる半導体装置を得ることができる。
【0092】
また、本実施例において、ゲート電極としてpoly−Si膜を用いたが、ゲート電極としてTiN、TaN、W、WN、Pt、Ir、Pt、Ta、Tiを用いても同様の効果を得ることができた。
【0093】
また、本実施例においては、FG型不揮発性半導体素子のブロッキング層として、第3の絶縁膜505を用いたが、これに限定されるものではなく、第3の絶縁膜505の一部にAlSiO膜が含まれていればその効果を得ることができた。
【符号の説明】
【0094】
1 シリコン基板
2 シリコン酸化膜
3 誘電体膜
4 TiN膜
100 成膜処理室
102 被処理基板
103 基板支持台
105 ヒータ
106、126 金属ターゲット
110、130 直流電源
201 不活性ガス源
203 マスフローコントローラ
205 反応性ガス源
207 マスフローコントローラ
700 制御機構
【技術分野】
【0001】
本発明は、誘電体膜の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
素子の高集積化が進む半導体装置の開発では、各素子の微細化が進むとともに動作電圧の低減が図られている。例えば、MONOS(Metal Oxide Nitride Oxide Semiconductor)型の不揮発性半導体装置の分野では、素子の微細化に伴い電荷保持層(チャージトラップ層)とゲート電極との間を隔てるブロッキング膜があるが、素子の微細化に伴い、ブロッキング膜の高誘電率化が求められている。同様に、FG(Floting Gate)型の不揮発性半導体装置の分野では、素子の微細化に伴い、浮遊電極とゲート電極間の絶縁膜の高誘電率化が求められている。MONOS型のチャージトラップ層は、例えばシリコン窒化膜により形成されており、ブロッキング膜としては、比誘電率が高く、かつリーク電流が少なく、またシリコン窒化膜に対するバンドギャップが大きい膜が要求されている。このようなブロッキング膜としてAl2O3を利用する技術が検討されている。Al2O3膜の形成方法として、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、原子層吸着堆積法、スパッタ法が挙げられる。CVD法は、形成過程においてインキュベーションタイムが存在するため、膜厚の制御性、面内均一性、再現性が課題となる。一方、スパッタ法はプラズマダメージや被処理基板の酸化による界面層の形成が課題となる。
【0003】
ALD法あるいはCVD法によるAl2O3膜の形成方法として、特許文献1には、塩化アルミニウム(AlCl3)と酸化ガスを用いてα−Al2O3を含むAl2O3膜を形成する技術が開示されている。この技術は、バンドギャップが8.8eVと高い膜が得られるという特徴がある。
【0004】
また、非特許文献1には、非晶質構造を有するSiリッチのAlSiOxをブロッキング膜として利用することにより素子の信頼性が向上すると記載されている。
【0005】
また、スパッタによる高誘電率誘電体膜の形成方法として、特許文献2には、AlとSiを含有した結晶質金属酸化物を耐摩耗性皮膜として利用する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開2009−105087号公報
【特許文献2】特開2000−129445号公報
【非特許文献】
【0007】
【非特許文献1】Extended Abstractsof the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials. 2009,pp156−157
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
しかしながら、上述の技術にはそれぞれ以下のような課題が存在する。
【0009】
特許文献1に記載の塩化アルミニウム(AlCl3)と水蒸気を含む酸化ガスを用いてα−Al2O3を含むAl2O3膜を形成する技術では、バンドギャップが高いα−Al2O3が得られるが、原料ガスとして塩素を含むガス(AlCl3)と、酸化ガスとして水蒸気を、それぞれ使用しているため、塩化水素の形成による半導体製造装置内の腐食が課題となる。更には、半導体製造装置の部品として石英反応管を使用している場合、塩化アルミニウムによる石英反応管の腐食が懸念される。
【0010】
非特許文献1に記載の非晶質(アモルファス)構造を有するSiリッチのAlSiOxをブロッキング膜として利用する技術は、非晶質膜にすることにより結晶粒界を介したリーク電流を抑制できるが、比誘電率が結晶相を含むAl2O3と比較して低下するため、ブロッキング膜の薄膜化が困難になるという課題がある。また、最適なSiの含有率に関しては記載されていないという課題がある。
【0011】
また、特許文献2に記載のAlとSiを含有した結晶質金属酸化物は、耐摩耗性に優れたα−Al2O3の結晶相が形成できると記載されているが、半導体素子の製造に適用するにあたっては半導体ウエハ表面に均一な膜のアルミナ膜を成膜することが要求されるが、特許文献2にはこのような課題を解決する技術は記載されておらず、半導体素子の製造に提供することは困難である。
【0012】
本発明は、上記従来の課題に対してなされたものであり、上述した課題を改善し、比誘電率の低下を軽減しつつリーク電流値を低減し、スパッタ率の低下による堆積速度の減少を抑制し、かつ、面内均一性に優れた誘電体膜の製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0013】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、特定の組成を有し、非晶質構造を有する金属酸化物を形成し、更にアニール処理を施すことにより、比誘電率が高く、リーク電流値が少ない誘電体膜が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
【0014】
上記目的を達成するために、本発明は、基板上に、AlとSiとOを主成分とする金属酸化物である誘電体膜を形成する誘電体膜の製造方法であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であり、非晶質構造を有する前記金属酸化物を形成する工程と、前記非晶質構造を有する金属酸化物にアニール処理を施し、結晶相を含む前記金属酸化物を形成する工程と、を備えたことを特徴とする。
【0015】
また、本発明は、コンピュータに、高誘電体膜を含む半導体素子の形成方法を実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、前記形成方法は、基板上に、AlとSiとOを主成分とする金属酸化物である誘電体膜を形成する誘電体膜の製造方法であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であり、非晶質構造を有する前記金属酸化物を形成する第1の工程と、前記非晶質構造を有する金属酸化物にアニール処理を施し、結晶相を含む前記金属酸化物を形成する第2の工程と、有することを特徴とする。
【0016】
また、本発明は、表面に酸化膜を有する基板上に、誘電体膜と上部電極膜とを堆積したMISキャパシタであって、前記誘電体膜がAlとSiとOを主成分とする結晶相を含む金属酸化物であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であることを特徴とする。
【0017】
また、本発明は、素子分離されたシ基板の表面に、ソース−ドレイン領域と、第1の絶縁膜と、第2の絶縁膜と、第3の絶縁膜と、ゲート電極とを順次積層したMONOS型不揮発メモリ素子であって、前記第3の絶縁膜が、AlとSiとOを主成分とする結晶相を含む金属酸化物であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であることを特徴とする。
【0018】
さらに、本発明は、ソース電極と、ドレイン電極と、その表面の少なくとも一部が半導体層である基板と、前記基板のうち、前記ソース電極と前記ドレイン電極と間の領域上に形成されたゲート電極と、前記基板と前記ゲート電極の間に設けられた積層型ゲート絶縁膜を備える不揮発性半導体装置であって、前記積層型ゲート絶縁膜が含む絶縁膜の少なくとも一層が、ブロッキング絶縁膜であり、前記ブロッキング絶縁膜が、AlとSiとOを主成分とする結晶相を含む金属酸化物であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であるあることを特徴とする。
【発明の効果】
【0019】
本発明によれば、Alを含有する金属酸化物からなる誘電体膜の比誘電率の低下を伴うことなく、ないしは該低下を軽減して、リーク電流値の減少を実現することができる。従って、本発明の誘電体膜の製造方法を、MONOS型不揮発性半導体素子のブロッキング絶縁膜の製造方法、FG型不揮発性半導体素子の浮遊電極とゲート電極間の絶縁膜の製造方法に適用した場合であっても、酸化膜換算膜厚(EOT:Equivalent Oxide Thickness)の薄膜化が可能である。
【図面の簡単な説明】
【0020】
【図1】本発明の一実施形態により誘電体膜を形成したMISキャパシタの断面図である。
【図2】本発明の一実施形態に係る非晶質構造を有する金属酸窒化物膜の形成工程に用いられる処理装置の一例の概略を示した図である。
【図3】本発明の一実施形態に係る、AlSiO膜のモル比率Si/(Si+Al)のSiターゲットパワー依存性を示した図である。
【図4】本発明の一実施形態により作製した素子の比誘電率とモル比率Si/(Si+Al)の関係を示した図である。
【図5】本発明の一実施形態により作製した素子のリーク電流とモル比率Si/(Si+Al)の関係を示した図である。
【図6】本発明の一実施形態により作製した素子のバンドギャップとモル比率Si/(Si+Al)の関係を示した図である。
【図7】本発明の一実施形態に係るXRDスペクトルを示した図である。
【図8】本発明の一実施形態に係る、モル比率Si/(Si+Al)が0.1、であるAlSiO膜のX線回折スペクトルのアニール温度依存性を示した図である。
【図9A】本発明の一実施形態に係る、Alターゲットの放電特性とAlSiO膜の堆積速度に対する酸素流量依存性を示した図である。
【図9B】本発明の一実施形態に係る、Siターゲットの放電特性とAlSiO膜の堆積速度に対する酸素流量依存性を示した図である。
【図10】本発明の第1の実施例のMISキャパシタの断面図である。
【図11】本発明の第2の実施例の半導体装置の製造方法の工程を示す図である。
【図12】本発明の第3の実施例の半導体装置の断面図である。
【図13】本発明の一実施形態における制御機構を示す図である。
【図14】本発明の一実施形態に係る処理装置に設置されている制御機構の模式図である。
【図15】本発明の第4の実施例の半導体装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0021】
以下、本発明の実施形態を図面に基づき詳細に説明する。
【0022】
本発明の一実施形態に係る製造方法で形成された誘電体膜(例えば、高誘電体膜)について、表面にシリコン酸化膜を有するシリコン基板上に、誘電体膜として、構成元素としてAl、Siを含む複合酸化膜(以下AlSiO膜と記述)を形成したMIS(Metal Insulator Semiconductor)キャパシタを例に取り説明する。
【0023】
本実施形態に係る誘電体膜の方法では、図1に示すように、表面に膜厚3.5nmのシリコン酸化膜2を有するシリコン基板1に、非晶質構造を有するAlSiO膜3を誘電体膜として堆積し、AlSiO膜3上にTiN膜4を上部電極膜として堆積している。
【0024】
図2に、非晶質構造を有するAlSiO膜の形成工程に用いられる処理装置の一例の概略を示す。
【0025】
成膜処理室100はヒータ101によって所定の温度に加熱できるように構成されている。また、成膜処理室100は、被処理基板102を、基板支持台103に組み込まれた、サセプタ104を介して、ヒータ105によって所定の温度に加熱できるように構成されている。基板支持台103は、膜厚の均一性の観点から所定の回転数で回転できることが好ましい。成膜処理室100内には、ターゲット106、126が、被処理基板102を望む位置に設置されている。
【0026】
ターゲット106、126は、Cu等の金属から出来ているバックプレート107、127を介してターゲットホルダー108、128に設置されている。なお、ターゲット106、126とバックプレート107、127を組み合わせたターゲット組立体の外形を1つの部品としてターゲット材料で作成し、これをターゲットとして取り付けても構わない。つまり、ターゲットがターゲットホルダーに設置された構成でも構わない。
【0027】
Cu等の金属製のターゲットホルダー108、128には、スパッタ放電用電力を印加する直流電源110、130が接続されており、絶縁体109、129により接地電位の成膜処理室100の壁から絶縁されている。
【0028】
スパッタ面から見たターゲット106、126の背後には、マグネトロンスパッタリングを実現するためのマグネット111、131が配設されている。マグネット111、131は、マグネットホルダー112、132に保持され、図示しないマグネットホルダー回転機構により回転可能となっている。ターゲットのエロージョンを均一にするため、放電中には、このマグネット111、131は回転している。
【0029】
ターゲット106、126は、被処理基板102に対して斜め上方のオフセット位置に設置されている。すなわち、ターゲット106、126のスパッタ面の中心点は、基板102の中心点の法線に対して所定の寸法ずれた位置にある。
【0030】
ターゲット106、126と被処理基板102の間には、遮蔽板116が設置され、電力が供給されたターゲット106、126から放出されるスパッタ粒子による処理基板102上への成膜を制御している。
【0031】
本実施形態では、ターゲットとして、Alの金属ターゲット106とSiの金属ターゲット126を用いている。誘電体膜3の堆積は、金属ターゲット106、126に、それぞれ直流電源110、130より、ターゲットホルダー108、128およびバックプレート107、127を介して電力を供給することにより実施される。この際、不活性ガスが、不活性ガス源201から、バルブ202、222、マスフローコントローラ203、223、バルブ204、224を介してターゲット付近から処理室100に導入される。また、酸素ガスである反応性ガスは、酸素ガス源205から、バルブ206、マスフローコントローラ207、バルブ208を介して処理室100内の基板付近に導入される。導入された不活性ガスおよび反応性ガスは、コンダクタンスバルブ117を介して、排気ポンプ118によって排気される。
【0032】
本実施形態では、一例として、基板温度が30℃となるようにヒータ105を制御し、Alターゲット106のターゲットパワーを600W、Siターゲット126のターゲットパワーを0W〜500Wの範囲に設定し、不活性ガスとしてArを用い、Arの供給量を25sccmとして、反応性ガスである酸素の供給量を0sccm〜20sccm(Standard Cubic Centimeter per Minutes)の範囲で成膜を行う。なお、sccm=一分間当たり供給されるガス流量0℃、1気圧で表したcm3数=1.69×10−3Pa・m3/s(0℃において)である。
【0033】
このとき、AlとSiとOとを主成分として含む金属酸化物であるAlSiO膜のモル比率Si/(Si+Al)を、Siのターゲット126に投入するパワーにより調節する。
【0034】
図13は、本発明の実施形態における制御機構を示す図である。バルブ202、204、206、208、222、224については、それぞれ制御用入出力ポート800、801、802、803、804、805を介して制御装置700によって開閉制御ができる。また、マスフローコントローラ203、207、223については、それぞれ制御用入出力ポート806、807、808を介して制御装置700によって流量の調節ができる。また、コンダクタンスバルブ117については、制御用入出力ポート809を介して制御装置700によって開度の調節ができる。また、ヒータ101については、入出力ポート810を介して制御装置700によって温度の調節ができる。また、基板支持台103の回転状態については、入出力ポート811を介して制御装置700によって回転数の調節ができる。また、直流電源110、130については、入出力ポート812,813を介して制御装置700によって供給電力が調節できる。
【0035】
図14は、本発明の実施形態に係る成膜装置100を制御するように設置されている制御装置700の模式図である。制御装置700は、入力部700b、プログラム及びデータを有する記憶部700c、プロセッサ700d及び出力部700eを備えており、基本的にはコンピュータ構成であり、対応の成膜装置100を制御している。なお、制御装置700は、成膜装置100と別個に設けても良いし、成膜装置100に内蔵しても良い。実施形態の機能を実現するように実施形態の構成を動作させるプログラムを記憶媒体(記録媒体)に記録し、該記憶媒体に記憶されたプログラムをコードとして読み出し、コンピュータにおいて実行する処理方法も上述の実施形態の範疇に含まれる。即ちコンピュータ読み取り可能な記憶媒体も実施形態の範囲に含まれる。また、前述のコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体はもちろんそのコンピュータプログラム自体も上述の実施形態に含まれる。かかる記憶媒体としてはたとえばフロッピー(登録商標)ディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、CD―ROM、磁気テープ、不揮発性メモリカード、ROMを用いることができる。
【0036】
図3に、AlSiO膜のモル比率Si/(Si+Al)のSiターゲットパワー依存性を示す。図3中、横軸はSiターゲットパワー(ターゲット126に供給されるパワー)、縦軸は(Si+Al)に対するSiのモル比率を示す。なお、図3において、Alターゲットパワー(ターゲット106に供給されるパワー)を、600Wと一定とする。組成については、XPS(X−ray Photoelectron Spectroscopy;光電子分光法)による分析により評価すれば良い。このように、Siのターゲットパワーを調節することにより、モル比率Si/(Si+Al)を0から0.30の範囲に制御できることが確認できる。よって、本実施形態では、制御装置700は、直流電源130を制御してターゲット126へのパワーを調節することにより、AlSiO膜のモル比率Si/(Si+Al)を制御することができる。
【0037】
上述の形成工程を用いて、AlSiO膜とSiを含まないAl2O3膜、又はSiを含まないAl2O3膜を膜厚5nm〜25nmの範囲で成膜する。
【0038】
次に、成膜したAlSiO膜、Al2O3膜を窒素雰囲気中600℃〜1000℃の範囲でアニール処理を施すことにより結晶化させ、結晶相を含む金属酸化物である誘電体膜3とする。
【0039】
次に、誘電体膜3上にスパッタリング法により膜厚10nmのTiN膜4を堆積させる。尚、誘電体膜3上にTiN膜4を堆積させた後、アニール処理を施し結晶化させても良い。
【0040】
次に、リソグラフィー技術とRIE(Reactive Ion Etching)技術を用いてTiN膜4を所望の大きさに加工し、MISキャパシタ構造を形成する。ここで、シリコン基板1を下部電極、TiN膜4を上部電極として電気特性の評価を行った。
【0041】
図4に、作製した素子の比誘電率とモル比率Si/(Si+Al)の関係を示す。図4中、横軸は、作製した素子の誘電体膜3における(Si+Al)に対するSiのモル比率、縦軸はAl2O3膜の比誘電率を示す。図中、黒塗りの三角「▲」のプロットはasdepo膜、黒塗り四角「■」のプロットは1000℃アニール後の結果を示している。なお、「as depo膜」とは、as−deposited膜の略であり、誘電体膜3を成膜した状態をいう。図より、asdepo膜はモル比率を変えても比誘電率の大きな変化は見られず、ほぼ一定で9前後の値を示す。一方1000℃アニール後の結果は、モル比率Si/(Si+Al)が0から0.10の範囲では、比誘電率はasdepo膜よりも増加し、AlSiO膜の比誘電率は9.3〜9.6となるが、0.1よりSiのモル比率を上げると比誘電率は8.2まで大幅に減少し、asdepo膜よりも下回る。
【0042】
図5に、作製した素子のリーク電流と作製した素子の誘電体膜3におけるモル比率Si/(Si+Al)の関係を示す。素子は、1000℃アニール処理を行ったものを用いている。図中の横軸はモル比率Si/(Si+Al)を示し、縦軸は、図1記載の素子の上部電極4に−9MV/cmの電界を印加したときのリーク電流を示している。リーク電流は電流−電圧測定により評価した。図5より、リーク電流はSiのモル比率が増加するに従い減少する。特に、Siを含まないAl2O3膜(図5では、Si/(Si+Al)=0の場合)のリーク電流が2.7×10−5A/cm2であるのに対し、モル比率を0.3とすることで2.45×10−8A/cm2と約3桁減少する。ここで、比誘電率kが8.5以上であるモル比率は、図4から0から0.1である。従って、比誘電率kが8.5以上でかつリーク電流値を抑制できるモル比率Si/(Si+Al)は、0よりも大きく0.10以下の範囲であることが示される。
【0043】
図6に、作製した素子のバンドギャップ(Eg)と作製した素子の誘電体膜3におけるモル比率Si/(Si+Al)の関係を示す。Egは真空紫外分光を有したエリプソメトリ(VUV−SE:Vacuum Ultra Violet Spectroscopicellipsometry)により測定した。図中、黒塗りの三角「▲」のプロットはasdep膜、黒塗り四角「■」のプロットは1000℃アニール後の結果を示している。図より、as depo膜のバンドギャップはモル比率Si/(Si+Al)の増加に従って増加しており、モル比率Si/(Si+Al)が0から0.2の領域でバンドギャップは6.65eVから6.93eVまで増加した。これに対し、1000℃アニール後のバンドギャップは、モル比率Si/(Si+Al)が0.07の時7.53eVに増加するが、その後モル比率Si/(Si+Al)を上げるとバンドギャップは減少し、Siを導入しないAl2O3膜(図6では、Si/(Si+Al)=0の場合)と同程度の7.45eVとなった。
【0044】
以上のことから、AlSiO膜のモル比率Si/(Si+Al)は、比誘電率の低下を小さくしつつ、リーク電流値の低減効果が得られる0よりも大きく0.1以下の範囲を有することが必要であり、バンドギャップの増大効果が得られる0よりも大きく0.08以下の範囲を有することが好ましく、より好ましくは0よりも大きく0.07以下の範囲にするのがよい。
【0045】
図7に1000℃アニール後のAl2O3膜(図7では、Si/(Si+Al)=0の場合)とAlSiO膜のX線回折パターンを示す。図7より1000℃でアニールすることにより、Al2O3膜とAlSiO膜は結晶化し、モル比率Si/(Si+Al)が0と0.07の膜はγ−Al2O3の結晶構造を示し、モル比率Si/(Si+Al)が0.1ではγ−Al2O3とアルミニウムケイ酸塩の結晶構造が混在し、モル比率Si/(Si+Al)が0.1より上げるとアルミニウムケイ酸塩の結晶構造を示す。この結晶構造の違いが比誘電率値の変化やリーク電流の抑制に寄与していると考えられる。すなわち、本発明のように、モル比率Si/(Si+Al)をせいぜい0.1とすることにより、誘電体膜3のアニール後の結晶構造においてアルミニウムケイ酸塩の形成を低減することができる。
【0046】
図8にモル比率Si/(Si+Al)が0.1であるAlSiO膜のX線回折スペクトルのアニール温度依存性を示す。図8中の横軸の2θは、X線を試料水平方向に対してθの角度で入射させ、 試料から反射して出てくるX線のうち、入射X線に対して2θの角度のX線を検出した場合の角度であり、縦軸のintensityは、回折された試料のX線の強度(任意値)を示す。図8より、AlSiO膜はas−deposited状態から900℃のアニール温度の範囲では、非晶質構造を有していることが確認できる。一方、1000℃以上のアニール温度により、結晶化していることが確認できる。従って、本発明における誘電体膜の効果を得るには、1000℃以上のアニール処理温度が必要であることが示される。
【0047】
次に、図9A,9BにAlターゲットとSiターゲットとの放電特性及びAlSiO膜の堆積速度に対する酸素流量依存性を示す。図9A、9B中、黒塗りの三角「▲」のプロットは酸素流量増加時、黒塗り四角「◆」および黒塗りの丸「●」のプロットは酸素流量減少時を示している。図9Aに示すAlターゲットの放電特性より、酸素流量が10sccm以下の領域では放電電圧が450V以上であるのに対して、15sccmより多い領域では放電電圧が300V以下に減少することが確認できる。又、図9Bに示すSiターゲットの放電特性より、酸素流量が20sccm以下の領域では放電電圧が550V以上であるのに対して、25sccm以上の領域では放電電圧が330V以下に減少することが確認できる。これらの放電電圧の変化は、酸素の供給量が増加すると金属ターゲット表面が酸化され、二次電子放出係数の増加及びガスのイオン化エネルギーの低下によって放電電流が増加するためである。なお、「スパッタ率」とは、スパッタターゲットを衝撃する衝撃イオン1個当たり放出するスパッタ原子数の割合をいう。すなわち、酸素流量が増加するに従って金属ターゲットの表面が酸化され、本来スパッタすべき金属元素のスパッタ粒子が放出されにくくなり、スパッタ率が低下することになる。上述のように、金属ターゲット表面の酸化と放電電圧の変化とは相関があるので、放電電圧の低下率が最大の箇所は、スパッタ率の低下率の最大と一致する。
【0048】
一方、AlSiO膜の堆積速度は、酸素流量が15sccm以上の領域では0.32nm/min以下であるのに対して、酸素流量が10sccmより低い領域では、4.1/min以上と大幅に増加する。この堆積速度の変化は、Alターゲットの放電特性に依存しており、本発明のAlSiO膜のAl濃度が、Siの濃度よりも十分に大きいことによる。すなわち、以上のことから、本発明の一実施形態における誘電体膜の形成は、堆積速度の低下を招くことなく実現できる、少なくともAlターゲットの酸化が小さい10sccm以下で行うことが好ましい。
【0049】
このように、放電電圧の酸素流量依存性を示すグラフにおいて、酸素供給量を増加させる場合において放電電圧が不連続に変わる領域(放電電圧が劇的に低下する領域)を境に、堆積速度も低下している。堆積速度が低下しているということはスパッタ率が低下していることになるので、上述のように放電電圧が劇的に低下する酸素供給量は、金属ターゲットの表面が供給された酸素により酸化することにより生じるスパッタ率の低下率が最大となる酸素供給量と言える。
【0050】
従って、例えば、金属ターゲットがAlである場合は、図9Aから分かるように、酸素供給量を増加させた場合のAlターゲットのスパッタ率の変動(放電電圧の変動)において(すなわち、スパッタ率(放電電圧)の酸素供給量依存性において)、Alターゲットの表面の酸化に起因したスパッタ率の低下率が最大となる酸素供給量以下に酸素供給量を設定することで、堆積速度を向上することができる。このように、Alターゲットのスパッタ率の低下を抑えるためには、Alターゲットに対する酸素供給速度としては10sccm以下であることが好ましい。
【0051】
また、例えば、金属ターゲットがSiである場合は、図9Bから分かるように、酸素供給量を増加させた場合のSiターゲットのスパッタ率の変動において、Siターゲットの表面の酸化に起因したスパッタ率の低下率が最大となる酸素供給量以下に酸素供給量を設定することで、堆積速度を向上することができる。このように、Siターゲットのスパッタ率の低下を抑えるためには、Siターゲットに対する酸素供給速度としては20sccm以下であることが好ましい。
【0052】
さらに、上述のように、AlSiO膜の成膜速度を向上させるためには、図9A、9Bから分かるように、AlターゲットおよびSiターゲットの双方とも放電電圧が劇的に低下していない場合に対応する酸素供給量、すなわち、スパッタ率が劇的に低下していない場合に対応する酸素供給量である10sccm以下にすることが好ましい。
【0053】
次に、形成された誘電体膜の膜厚の面内均一性と成膜中における真空容器内の圧力との関係を調査した。その結果、真空容器内の圧力が1×10−1Pa以下の領域において、±2.5%以下の均一性が得られることを確認した。なお、真空容器内の圧力を1×10−1Pa以上にすると、スパッタ粒子の基板到達時のエネルギーは減少するので、このことが均一性を低下する要因になると考えられる。
【0054】
以上より、比誘電率値が8.5以上であり、かつリーク電流値が低い誘電体膜を製造するには、AlとSiとOを主成分とする金属酸化物からなる誘電体膜の形成方法であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.1であり、非晶質構造を有する金属酸化物を形成すること、更に、1000℃以上のアニール処理を施し、該非晶質構造を有する金属酸化物をγ−Al2O3を主体とする結晶相を含む誘電体膜にすることが必要である。
【0055】
バンドギャップが7.45eV以上の誘電体膜を製造するには、AlとSiとOを主成分とする金属酸化物からなる誘電体膜の形成方法であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.08であり、非晶質構造を有する金属酸化物を形成すること、更に、1000℃以上のアニール処理を施し、該非晶質構造を有する金属酸化物をγ−Al2O3を主体とする結晶相を含む誘電体膜にすることが必要である。
【0056】
また、非晶質構造を有する金属酸窒化物を形成する工程が、真空容器内で、酸素と窒素の混合ガスからなる反応性ガスと不活性ガスの混合雰囲気下において上記金属酸窒化物層に含まれる金属材料の金属ターゲットをマグネトロンスパッタする工程であることが好ましい。この工程において、堆積速度の低下を抑制するため、反応性ガスの供給量を上記金属ターゲットの表面が酸化することにより生じるスパッタ率の低下率が最大となる供給量以下に設定することが好ましい。更に、形成される誘電体膜の膜厚均一性を±2.5%以下にするには、成膜中の真空容器内の圧力を1×10−1Pa以下に設定することが好ましい。
【0057】
尚、上記の説明では、シリコン酸化膜上に誘電体膜を形成した場合について述べたが、これらに限定されるものではなく、MONOS型不揮発メモリにおけるブロッキング膜、FG型不揮発メモリ素子における浮遊電極とゲート電極間の絶縁膜、MOSトランジスタの一部に、本発明の方法を適用することで、十分にその効果を得ることができる。
【0058】
即ち、絶縁体膜として誘電体膜を有する半導体装置の製造方法に、本発明の方法を適用することができ、例えば、以下の製造方法が挙げられる。
【0059】
本発明の製造方法が適用可能な製造方法としては、例えば、その表面の少なくとも一部が半導体層である基板と、該基板上に形成されたゲート電極と、上記基板と上記ゲート電極の間に順次積層された積層型ゲート絶縁膜を有する不揮発性半導体装置の製造方法であって、上記積層型ゲート絶縁膜に含まれる絶縁膜の少なくとも一層を、本発明の一実施形態に係る方法により形成する半導体装置の製造方法等が挙げられる。
【0060】
また、本発明の製造方法により製造される半導体装置としては、例えば、その表面の少なくとも一部が半導体層である基板と、該基板上に形成されたゲート電極と、上記基板と上記ゲート電極との間に、絶縁膜と浮遊電極と絶縁膜とが順次積層された構造を有する不揮発性半導体装置であって、上記ゲート電極と上記浮遊電極との間に位置する絶縁膜の少なくとも一部が、本発明の誘電体膜である半導体装置等が挙げられる。
【0061】
(第1の実施例)
本発明の第1の実施例を、図面を参照しながら詳細に説明する。
【0062】
図10は、本発明の一実施形態に係る製造方法により形成された誘電体膜を有するMISキャパシタを示した図である。表面に膜厚3.5nmのシリコン酸化膜302を有するシリコン基板301に、スパッタリング法により非晶質構造を有するAlSiO膜を堆積した。ターゲットとしては、AlおよびSiの金属ターゲットを用い、スパッタガスとしてアルゴンおよび酸素および窒素を用いた。
【0063】
基板温度は27℃〜600℃、ターゲットパワーは50W〜1000W、スパッタガス圧は0.02Pa〜0.1Pa、Arガス流量は1sccm〜200sccm、酸素ガス流量は1sccm〜100sccm、窒素ガス流量は1sccm〜50sccm、の範囲内で適宜決定することができる。
【0064】
ここでは、基板温度30℃、Alのターゲットパワー600W、Siのターゲットパワー50W〜500W、スパッタガス圧0.03Pa、Arガス流量25sccmとして成膜を行った。また、酸素供給量は、堆積速度の低下を招くことのないように、図9Aに示される範囲になるように酸素供給量を設定した。
【0065】
上述の形成工程を用いてSiモル比率0≦Si/(Si+Al)≦0.30の範囲のAlSiO膜303を膜厚5nm〜25nmの範囲で成膜した。
【0066】
次に、AlSiO膜上にスパッタリング法を用いて膜厚10nmのTiN膜304を堆積させた。ターゲットとしては、Tiの金属ターゲットを用い、スパッタガスとしてはアルゴンおよび窒素を用いた。
【0067】
基板温度は27℃〜600℃、ターゲットパワーは50W〜1000W、スパッタガス圧は0.02Pa〜0.1Pa、Arガス流量は1sccm〜200sccm、窒素ガスは1sccm〜50sccmの範囲内で、適宜決定することができる。
【0068】
ここでは、基板温度30℃、Tiのターゲットパワー750W、スパッタガス圧0.03Pa、Arガス流量30sccm、窒素ガス流量10sccmとして成膜を行った。
【0069】
尚、ここではTiN膜304を堆積したが、Ti、TaN、W、Pt、Ru、Al、TiAlN、Siも適宜、用いることができる。
【0070】
次に、窒素雰囲気中で1000℃の温度において、2minのアニール処理を行い、AlSiO膜を結晶化させ、誘電体膜303とした。尚、ここではTiN膜304を堆積した後、アニール処理を行ったが、TiN膜304を堆積する前にアニール処理を行ってもよい。また、ここでは窒素雰囲気中でアニール処理を行ったが、酸素、Ar等の不活性ガスを適宜、用いることができる。また、これらからなる群のうち選択される雰囲気中でアニールしてもよい。
【0071】
次に、リソグラフィー技術とRIE技術を用いてTiN膜304を所望の大きさに加工し、MISキャパシタ構造を形成した。
【0072】
以上のように作製した誘電体膜303の比誘電率を評価した。その結果、AlSiO膜のSiモル比率Si/(Si+Al)が0.1以下の範囲で比誘電率が8.5以上の値が得られ、かつリーク電流が低減できることを確認した。更に、AlSiO膜のSiモル比率Si/(Si+Al)が0.08以下の範囲においてバンドギャップが増大することを確認した。
【0073】
このように、本実施例によれば、AlSiO(Siモル比率0<(Si/(Si+Al))≦0.1)で表され、非晶質構造を有する金属酸化物を形成する工程と、非晶質構造からなる金属酸化物に1000℃以上のアニール処理を施し、結晶相を含む金属酸化物を形成する工程と、を実施することにより比誘電率値が8.5以上であり、かつリーク電流値を低減できる誘電体膜が得られることを確認した。
【0074】
また、TiN膜304に代えて、Ti、TaN、W、Pt、Ru、Al、Siからなる群から選択される一つの材料を用いても、同様の効果が得られることを確認した。
【0075】
(第2の実施例)
図11は、本発明の第2の実施例に関わる半導体素子の作製工程を示した断面図である。
【0076】
まず図11の工程1に示すように、シリコン基板501の表面にSTI(Shallow Trench Isolation)技術を用いて素子分離領域502を形成した。続いて、素子分離されたシリコン基板501の表面に、第1の絶縁膜503としてシリコン酸化膜を熱酸化膜法により30Å〜100Å形成した。続いて、第1の絶縁膜503上に、第2の絶縁膜504としてシリコン窒化膜をLPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)法により30Å〜100Å形成した。続いて、第3の絶縁膜505として、第2の絶縁膜504上に、第1の実施例と同じ方法によりAlSiO膜を膜厚5nm〜20nmの範囲で形成した。
【0077】
次に、ゲート電極506として厚さ150nmのpoly−Si膜を形成した後、図11の工程2に示すように、リソグラフィー技術およびRIE(Reactive Ion Etching)技術を用いて、工程1にて作製された構造をゲート電極に加工し、引き続きイオン注入を行い、エクステンション領域507を、ゲート電極をマスクとして自己整合的に形成した。
【0078】
さらに、図11の工程3に示すように、シリコン窒化膜とシリコン酸化膜を順次堆積し、その後エッチバックすることによってゲート側壁508を形成した。この状態で再度イオン注入を行い、活性化アニールを経てソース・ドレイン領域509を形成した。
【0079】
作製した半導体装置の電気特性を評価した結果、第3の絶縁膜505であるAlSiO膜のSiモル比率が0<(Si/(Si+Al)≦0.1の範囲で、Siを含有しないAl2O3と比較して比誘電率の低減を軽減しつつ、リーク電流を低減できることを確認した。更に、AlSiO膜のSiモル比率が0<(Si/(Si+Al)≦0.08の範囲のAlSiO膜を形成することで消去特性と保持特性の向上を確認した。
【0080】
以上のように、本実施例によれば、MONOS型不揮発メモリ素子のブロッキング絶縁膜の一部に、AlSiO膜を有する半導体装置の製造方法において、本発明の誘電体膜の製造方法を実施することにより、ゲートリーク電流を低減できる半導体装置が得られることができる。
【0081】
また、本実施例において、ゲート電極としてpoly−Si膜を用いたが、ゲート電極としてTiN、TaN、W、WN、Pt、Ir、Pt、Ta、Tiを用いても同様の効果を得ることができた。
【0082】
また、本実施例においては、不揮発性半導体メモリ素子のブロッキング層として、第3の絶縁膜505を用いたが、これに限定されるものではなく、第3の絶縁膜505の一部にAlSiO膜が含まれていればその効果を得ることができた。
【0083】
(第3の実施例)
本発明の第3の実施例を、図面を参照しながら詳細に説明する。
【0084】
図12は、本発明の第3の実施例である半導体装置の断面図を示した図である。本実施例は、第2の実施例における半導体素子の第2の絶縁膜504をpoly−Si604からなる層で形成する点で、第2の実施例と異なる。第2の絶縁膜504以降の形成工程は、第2の実施例と同一である。図12において、符号601はシリコン基板、符号602は素子分離領域、符号603は第1の絶縁膜、符号605は第3の絶縁膜、符号606はゲート電極、符号607はエクステンション領域である。
【0085】
作製した半導体装置の電気特性を評価した結果、第3の絶縁膜であるAlSiO膜のSiモル比率が0<(Si/(Si+Al)≦0.08の範囲で、Siを含有しないAl2O3と比較して比誘電率の低下を招くことなくリーク電流を低減できることを確認した。
【0086】
以上のように、本実施例によれば、浮遊電極を有するFG型の不揮発メモリ素子のブロッキング絶縁膜(インターポリ絶縁膜)の一部に、AlSiO膜を有する半導体装置の製造方法において、本発明誘電体膜の製造方法を実施することにより、ゲートリーク電流を低減できる半導体装置が得られることができる。
【0087】
また、本実施例において、ゲート電極としてpoly−Si膜を用いたが、ゲート電極としてTiN、TaN、W、WN、Pt、Ir、Pt、Ta、Tiを用いても同様の効果を得ることができた。
【0088】
また、本実施例においては、不揮発性半導体メモリ素子のブロッキング層として、第3の絶縁膜と第4の絶縁膜と第5の絶縁膜の積層膜を用いたが、第3の絶縁膜と第4の絶縁膜の積層膜でも同様の効果を得ることができた。
【0089】
<第4の実施例(FG型不揮発性半導体素子に適用した実施例)>
本発明の第4の実施例を、図面を参照しながら詳細に説明する。
図15は、本発明の第4の実施例である半導体装置の断面図を示した図である。本実施例は、第2の実施例における半導体素子の第2の絶縁膜504をpoly−Si701からなる層で形成する点で、第2の実施例と異なる。poly-Si701はCVD法により作製した。それ以外の形成工程は、第2の実施例と同一である。図15においては不図示であるが、本実施例に係るFG型不揮発性半導体素子は、ソース電極およびドレイン電極を備えることは言うまでもない。よって、シリコン基板501のソース電極とドレイン電極との間の領域上にゲート電極が形成される。
【0090】
作製した半導体装置であるFG型不揮発性半導体素子の電気特性を評価した結果、第3の絶縁膜505であるAlSiO膜のSiモル比率が0<(Si/(Si+Al))≦0.1の範囲で、Siを含有しないAl2O3と比較して比誘電率の低減を招くことなくリーク電流を低減できることを確認した。更に、AlSiO膜のSiモル比率が0<(Si/(Si+Al)≦0.08の範囲のAlSiO膜を形成することで消去特性と保持特性の向上を確認した。
【0091】
以上のように、本実施例によれば、FG型不揮発性半導体素子のブロッキング絶縁膜の一部に、AlSiO膜を有する半導体装置の製造方法において、本発明の誘電体膜の製造方法を実施することにより、ゲートリーク電流を低減し、消去特製と保持特性を向上することができる半導体装置を得ることができる。
【0092】
また、本実施例において、ゲート電極としてpoly−Si膜を用いたが、ゲート電極としてTiN、TaN、W、WN、Pt、Ir、Pt、Ta、Tiを用いても同様の効果を得ることができた。
【0093】
また、本実施例においては、FG型不揮発性半導体素子のブロッキング層として、第3の絶縁膜505を用いたが、これに限定されるものではなく、第3の絶縁膜505の一部にAlSiO膜が含まれていればその効果を得ることができた。
【符号の説明】
【0094】
1 シリコン基板
2 シリコン酸化膜
3 誘電体膜
4 TiN膜
100 成膜処理室
102 被処理基板
103 基板支持台
105 ヒータ
106、126 金属ターゲット
110、130 直流電源
201 不活性ガス源
203 マスフローコントローラ
205 反応性ガス源
207 マスフローコントローラ
700 制御機構
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板上に、AlとSiとOを主成分とする金属酸化物である誘電体膜を形成する誘電体膜の製造方法であって、
Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であり、非晶質構造を有する前記金属酸化物を形成する工程と、
前記非晶質構造を有する金属酸化物にアニール処理を施し、結晶相を含む前記金属酸化物を形成する工程と、
を備えたことを特徴とする誘電体膜の製造方法。
【請求項2】
前記非晶質構造を有する金属酸化物のAl元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.08であることを特徴とする請求項1に記載の誘電体膜の製造方法。
【請求項3】
前記アニール処理の温度は、1000℃以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の誘電体膜の製造方法。
【請求項4】
前記非晶質構造を有する金属酸化物を形成する工程が、真空容器内で、酸素を含む反応性ガスと不活性ガスの混合雰囲気下において前記金属酸化物に含まれる金属材料を含む金属ターゲットをマグネトロンスパッタする工程であり、
前記真空容器内に供給する前記反応性ガスの供給量を、該反応性ガスの供給量を増加させた場合の前記金属ターゲットのスパッタ率の変動における、前記金属ターゲットの表面が前記反応性ガスによって酸化することにより生じる前記スパッタ率の低下率が最大となる供給量以下に設定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の誘電体膜の製造方法。
【請求項5】
前記金属ターゲットがAlのターゲットを含み、
前記反応性ガスの供給量を、前記Alのターゲットの表面が前記反応性ガスによって酸化することにより生じる前記スパッタ率の低下率が最大となる供給量以下に設定することを特徴とする請求項4に記載の誘電体膜の製造方法。
【請求項6】
前記金属ターゲットがSiのターゲットを含み、
前記反応性ガスの供給量を、前記Siのターゲットの表面が前記反応性ガスによって酸化することにより生じる前記スパッタ率の低下率が最大となる供給量以下に設定することを特徴とする請求項4に記載の誘電体膜の製造方法。
【請求項7】
前記真空容器内の圧力を1×10−1Pa以下に設定することを特徴とする請求項4に記載の誘電体膜の製造方法。
【請求項8】
前記誘電体膜の比誘電率が8.5以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の誘電体膜の製造方法。
【請求項9】
絶縁体膜として誘電体膜を有する半導体装置の製造方法であって、
前記誘電体膜を、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の製造方法により形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項10】
その表面の少なくとも一部が半導体層である基板と、
前記基板上に形成されたゲート電極と、
前記基板と前記ゲート電極の間に設けられた積層型ゲート絶縁膜とを有する不揮発性半導体装置の製造方法であって、
前記積層型ゲート絶縁膜が含む絶縁膜の少なくとも一層を、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の製造方法により形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項11】
その表面の少なくとも一部が半導体層である基板と、
前記基板上に形成されたゲート電極と、
前記基板と前記ゲート電極との間に絶縁膜と浮遊電極と絶縁膜とが順次積層された構造を有する不揮発性半導体装置の製造方法であって、
前記ゲート電極と前記浮遊電極との間に位置する絶縁膜の少なくとも一部を、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の製造方法により形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項12】
コンピュータに、高誘電体膜を含む半導体素子の形成方法を実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、
前記形成方法は、
基板上に、AlとSiとOを主成分とする金属酸化物である誘電体膜を形成する誘電体膜の製造方法であって、
Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であり、非晶質構造を有する前記金属酸化物を形成する第1の工程と、
前記非晶質構造を有する金属酸化物にアニール処理を施し、結晶相を含む前記金属酸化物を形成する第2の工程と、
有することを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項13】
表面に酸化膜を有する基板上に、誘電体膜と上部電極膜とを堆積したMISキャパシタであって、
前記誘電体膜がAlとSiとOを主成分とする結晶相を含む金属酸化物であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であることを特徴とするMISキャパシタ。
【請求項14】
素子分離された基板の表面に、ソース−ドレイン領域と、第1の絶縁膜と、第2の絶縁膜と、第3の絶縁膜と、ゲート電極とを順次積層したMONOS型不揮発メモリ素子であって、
前記第3の絶縁膜が、AlとSiとOを主成分とする結晶相を含む金属酸化物であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であることを特徴とするMONOS型不揮発メモリ素子。
【請求項15】
ソース電極と、ドレイン電極と、その表面の少なくとも一部が半導体層である基板と、前記基板のうち、前記ソース電極と前記ドレイン電極と間の領域上に形成されたゲート電極と、前記基板と前記ゲート電極の間に設けられた積層型ゲート絶縁膜を備える不揮発性半導体装置であって、
前記積層型ゲート絶縁膜が含む絶縁膜の少なくとも一層が、ブロッキング絶縁膜であり、
前記ブロッキング絶縁膜が、AlとSiとOを主成分とする結晶相を含む金属酸化物であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であるあることを特徴とする不揮発性半導体装置。
【請求項1】
基板上に、AlとSiとOを主成分とする金属酸化物である誘電体膜を形成する誘電体膜の製造方法であって、
Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であり、非晶質構造を有する前記金属酸化物を形成する工程と、
前記非晶質構造を有する金属酸化物にアニール処理を施し、結晶相を含む前記金属酸化物を形成する工程と、
を備えたことを特徴とする誘電体膜の製造方法。
【請求項2】
前記非晶質構造を有する金属酸化物のAl元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.08であることを特徴とする請求項1に記載の誘電体膜の製造方法。
【請求項3】
前記アニール処理の温度は、1000℃以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の誘電体膜の製造方法。
【請求項4】
前記非晶質構造を有する金属酸化物を形成する工程が、真空容器内で、酸素を含む反応性ガスと不活性ガスの混合雰囲気下において前記金属酸化物に含まれる金属材料を含む金属ターゲットをマグネトロンスパッタする工程であり、
前記真空容器内に供給する前記反応性ガスの供給量を、該反応性ガスの供給量を増加させた場合の前記金属ターゲットのスパッタ率の変動における、前記金属ターゲットの表面が前記反応性ガスによって酸化することにより生じる前記スパッタ率の低下率が最大となる供給量以下に設定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の誘電体膜の製造方法。
【請求項5】
前記金属ターゲットがAlのターゲットを含み、
前記反応性ガスの供給量を、前記Alのターゲットの表面が前記反応性ガスによって酸化することにより生じる前記スパッタ率の低下率が最大となる供給量以下に設定することを特徴とする請求項4に記載の誘電体膜の製造方法。
【請求項6】
前記金属ターゲットがSiのターゲットを含み、
前記反応性ガスの供給量を、前記Siのターゲットの表面が前記反応性ガスによって酸化することにより生じる前記スパッタ率の低下率が最大となる供給量以下に設定することを特徴とする請求項4に記載の誘電体膜の製造方法。
【請求項7】
前記真空容器内の圧力を1×10−1Pa以下に設定することを特徴とする請求項4に記載の誘電体膜の製造方法。
【請求項8】
前記誘電体膜の比誘電率が8.5以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の誘電体膜の製造方法。
【請求項9】
絶縁体膜として誘電体膜を有する半導体装置の製造方法であって、
前記誘電体膜を、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の製造方法により形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項10】
その表面の少なくとも一部が半導体層である基板と、
前記基板上に形成されたゲート電極と、
前記基板と前記ゲート電極の間に設けられた積層型ゲート絶縁膜とを有する不揮発性半導体装置の製造方法であって、
前記積層型ゲート絶縁膜が含む絶縁膜の少なくとも一層を、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の製造方法により形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項11】
その表面の少なくとも一部が半導体層である基板と、
前記基板上に形成されたゲート電極と、
前記基板と前記ゲート電極との間に絶縁膜と浮遊電極と絶縁膜とが順次積層された構造を有する不揮発性半導体装置の製造方法であって、
前記ゲート電極と前記浮遊電極との間に位置する絶縁膜の少なくとも一部を、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の製造方法により形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項12】
コンピュータに、高誘電体膜を含む半導体素子の形成方法を実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、
前記形成方法は、
基板上に、AlとSiとOを主成分とする金属酸化物である誘電体膜を形成する誘電体膜の製造方法であって、
Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であり、非晶質構造を有する前記金属酸化物を形成する第1の工程と、
前記非晶質構造を有する金属酸化物にアニール処理を施し、結晶相を含む前記金属酸化物を形成する第2の工程と、
有することを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項13】
表面に酸化膜を有する基板上に、誘電体膜と上部電極膜とを堆積したMISキャパシタであって、
前記誘電体膜がAlとSiとOを主成分とする結晶相を含む金属酸化物であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であることを特徴とするMISキャパシタ。
【請求項14】
素子分離された基板の表面に、ソース−ドレイン領域と、第1の絶縁膜と、第2の絶縁膜と、第3の絶縁膜と、ゲート電極とを順次積層したMONOS型不揮発メモリ素子であって、
前記第3の絶縁膜が、AlとSiとOを主成分とする結晶相を含む金属酸化物であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であることを特徴とするMONOS型不揮発メモリ素子。
【請求項15】
ソース電極と、ドレイン電極と、その表面の少なくとも一部が半導体層である基板と、前記基板のうち、前記ソース電極と前記ドレイン電極と間の領域上に形成されたゲート電極と、前記基板と前記ゲート電極の間に設けられた積層型ゲート絶縁膜を備える不揮発性半導体装置であって、
前記積層型ゲート絶縁膜が含む絶縁膜の少なくとも一層が、ブロッキング絶縁膜であり、
前記ブロッキング絶縁膜が、AlとSiとOを主成分とする結晶相を含む金属酸化物であって、Al元素とSi元素のモル比率Si/(Si+Al)が0<(Si/(Si+Al))≦0.10であるあることを特徴とする不揮発性半導体装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9A】
【図9B】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9A】
【図9B】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【公開番号】特開2011−151366(P2011−151366A)
【公開日】平成23年8月4日(2011.8.4)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−259147(P2010−259147)
【出願日】平成22年11月19日(2010.11.19)
【出願人】(000227294)キヤノンアネルバ株式会社 (564)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成23年8月4日(2011.8.4)
【国際特許分類】
【出願日】平成22年11月19日(2010.11.19)
【出願人】(000227294)キヤノンアネルバ株式会社 (564)
【Fターム(参考)】
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